70
СБОРНИК ДОКЛАДОВ
НОВЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ В ОБЛАСТИ ИНДИКАЦИИ
И ЗАЩИТЫ ОРГАНОВ ДЫХАНИЯ ДЛЯ ПЕРСПЕКТИВНОЙ БОЕВОЙ
ЭКИПИРОВКИ ВОЕННОСЛУЖАЩИХ МВД РОССИИ
ский метод
5
на базе полупроводнико-
вых наноструктурных сенсоров [4].
Научно-исследовательской лабора-
торией ООО «Омега» с помощью ори-
гинальных методик синтеза, топологии
нанесения и спекания полупроводни-
ковых оксидов (SnO
2
, TiO
2
, WO
3
, V
2
O
5
,
In
2
O
3
, Fe
2
O
3
, Cu
2
O, CuO, ZnO, CdO и
др.) в наноструктурной форме созда-
ны бюджетные полупроводниковые
сенсоры, обладающие высокой чув-
ствительностью, селективностью, ста-
бильностью работы, низкими массо-га-
баритными размерами и потребляемой
мощностью (рис. 1).
Высокие метрологические характе-
ристики – высокая чувствительность,
необходимая селективность и стабиль-
ность газочувствительных сенсоров –
достигнуты формированием развитой
поверхности, динамическим смещени-
ем донорных уровней при нагревании
5. Определение концентрации газов (паров) при помощи оксидных полупроводниковых сен-
соров сводится к измерению потенциала при изменении электрического сопротивления
газочувствительного элемента сенсорного устройства, происходящего в результате его
взаимодействия с определяемым газом (паром).
Рис. 1. Электронные микроскопические изображения поверхности полупрово-
дниковых газочувствительных сенсоров SnO
2
, легированных оксидом сурьмы (III)
(изображения получены при увеличении х5000 и х100 с помощью растрового
микроскопа «Qunta 200»)
